Технологии

_^MEMS

Технология MEMS (Microelectromechanical systems - микроэлектромеханические системы) - это технология, объединяющая в себе микроэлектронные и микромеханические компоненты. MEMS-технологии применяются для создания разнообразных миниатюрных датчиков, таких как акселерометры, датчики угловых скоростей, гироскопы, магнитометрические датчики, барометрические датчики и других. MEMS-сенсоры способны корректно, с высокой избирательностью определять ударные (вибрационные) воздействия на объект. Обеспечивают контроль ориентации объекта в 6D - пространстве (вверх и вниз по трем осям). Технология гарантирует ultra low-power operational - режим минимального энергопотребления, что крайне актуально для современных автомобилей.

MEMS-устройства изготавливают по технологии, аналогичной технологии изготовления однокристальных интегральных микросхем. Типичные размеры микромеханических элементов лежат в диапазоне от 1 до 100 микрометров (микрон). Кристалл MEMS-микросхемы может иметь размеры от 20 микрометров до одного миллиметра, что определяет принадлежность MEMS-сенсоров к "nano"-семейству.

^{MEMS-актуатор размером 10 микрон}